新品晶圓表面用二氧化硅SiO2標準粒子的介紹

更新時間：2022-08-11 點擊次數(shù)：2215

新品晶圓表面用二氧化硅SiO2標準粒子的介紹

產(chǎn)品名稱：

SiO2微粒子標準溶液

納米級別二氧化硅

SiO2標準粒子

晶圓表面用二氧化硅

納米二氧化硅™尺寸標準

MSP Corporation 的 NanoSilica™Size Standards 是 SiO2顆粒的濃縮水懸浮液，具有高度均勻的尺寸分布。

這些粒徑標準目前提供的標稱尺寸范圍為 15 至 200 nm，非常適合為下一代晶圓和光掩模檢測系統(tǒng)生產(chǎn)高質(zhì)量校準標準。

雖然 MSP 23000NPT 系列和 2300G3 系列粒子沉積系統(tǒng)為表面缺陷校準標準的生產(chǎn)提供了結(jié)果，但較舊的 MSP 系統(tǒng)和其他制造商的系統(tǒng)也適用于納米二氧化硅尺寸標準。

特征

+ 極其均勻的尺寸分布

我們的納米二氧化硅尺寸標準采用獲得**的 SiO2合成工藝開發(fā)，其尺寸分布比市售的 PSL 球更窄。

+ 使用 SI 可追溯性測量的峰直徑

允許產(chǎn)量提高和計量小組根據(jù) ISO 9000 標準和 SEMI 指南建立其檢查和缺陷審查方法的可追溯性。

+ 受到強烈 DUV 輻射時穩(wěn)定

MSP 的 SiO2顆粒在暴露于 DUV 輻射時不會降解，這與 PSL 球體不同，PSL 球體的尺寸會減小。

+ 易于使用

NanoSilica 顆粒懸浮液在滴管瓶中提供，以便在您的應(yīng)用中混合具有適當數(shù)量濃度的懸浮液時使用方便。

+ 高粒子濃度

一些應(yīng)用需要高濃度。 MSP 的顆粒濃度是業(yè)內(nèi)最高的之一。

+ 輕松辨別模態(tài)（峰值）直徑

+ 避免由于平均和峰值直徑值之間的差異而導致的差異

+ 制備適用于效率相對較高或較低的氣溶膠產(chǎn)生裝置的稀釋懸浮液

+ 為***的檢測工具創(chuàng)建持久的校準標準

+ 消耗更少的材料；存錢

+ 隨附校準和可追溯性證書以及帶有處理和處置說明的安全數(shù)據(jù)表 (SDS)

型號	目錄編號	標稱粒徑 [nm]	認證1峰值直徑 [nm]	大約 Size Dist. Width, RFWHM2
1044	NS-0015A	15	14-16	13%
1046	NS-0018A	18	17-19	12%
1047	NS-0020A	20	19-21	11%
1048	NS-0024A	24	23-25	10%
1075	NS-0027A	27	26-28	9%
1049	NS-0030A	30	29-31	8%
1079	NS-0032A	32	31-33	7%
1062	NS-0035A	35	34-36	7%
1076	NS-0037A	37	36-38	6%
1051	NS-0040A	40	39-41	6%
1063	NS-0045A	45	44-46	5%
1052	NS-0050A	50	49-51	5%
1077	NS-0055A	55	53-57	5%
1053	NS-0060A	60	58-62	4%
1067	NS-0064A	64	62-66	4%
1054	NS-0070A	70	68-72	4%
1068	NS-0074A	74	72-76	4%
1055	NS-0080A	80	78-82	4%
1069	NS-0084A	84	82-86	4%
1057	NS-0090A	90	88-92	4%
1070	NS-0094A	94	92-96	4%
1058	NS-0100A	100	98-102	4%
1071	NS-0104A	104	102-106	4%
1059	NS-0125A	125	120-130	4%
1060	NS-0150A	150	145-155	4%
1061	NS-0200A	200	190-210	4%

1給定目錄號的認證直徑將在規(guī)定范圍內(nèi)提供。

2相對半高寬（半高全寬）； FWHM 除以模態(tài)直徑。

規(guī)格

粒子組成	無定形SiO₂
粒子密度	1.9 克/厘米3
折射率	633納米時為1.41英寸
體積	5 毫升
專注	每毫升 1013至 1015顆粒
截止日期	≥ 24 個月
添加劑	乙醇（按質(zhì)量計 5-20%）有機穩(wěn)定劑（<0.1% 質(zhì)量）
儲存和處理	在室溫下儲存（參見校準和可追溯性證書更多詳情。

NanoSilica™ 微粒子標準溶液是由MSP Corporation制作的高度均勻尺寸SiO2微粒子濃縮水溶液，微粒子尺寸從18nm到200nm都可選擇，是市面上***、高質(zhì)量的校正標準，適用于最新一代的晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)。

***的半導體檢查技術(shù)已經(jīng)發(fā)展到小于30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)的校正，但新一代的檢查系統(tǒng)使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢查小于20nm的污染或缺陷，當UV光重復(fù)打在PSL球形化粒子上，將影響到PSL球形化粒子的質(zhì)量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下?lián)碛蟹€(wěn)定的質(zhì)量，因此SiO2微粒子是不錯的替代產(chǎn)品。

NanoSilica™ 微粒子標準溶液是使用有**的SiO2合成技術(shù)，可以做到如PSL球形化粒子一樣的尺寸分布，從目前最小的微粒子尺寸來看，NanoSilica™ 微粒子標準溶液是尺寸最均勻，適合做尺寸大小峰值的量測的工具。

NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子標準溶液是MSP Corporation透過National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到標準單位的產(chǎn)品，加上ISO 9000與SEMI的認證，讓良率提升及表面檢查和缺陷評估有所依據(jù)。

NanoSilica™ 微粒子標準溶液使用15-mL滴定，讓使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷標皆標示產(chǎn)品編號、生產(chǎn)編號、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高寬及有效期限，而且提供NIST-traceable證明書與Material Safety Data Sheet (MSDS)說明書。

產(chǎn)品優(yōu)勢
•尺寸大小分布均勻
•NIST traceability 的尺寸大小
•DUV及EUV的照射下?lián)碛蟹€(wěn)定的質(zhì)量
•高濃縮度微粒子懸浮溶液

產(chǎn)品效益
•易于微粒子撒粒系統(tǒng)、晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)或各類分析儀器偵測與量測尺寸峰值
•可避免平均尺寸與尺寸峰值的差異性
•適合氣膠產(chǎn)生設(shè)備使用
•提供耐久校正標準給先進的檢測設(shè)備使用
•省錢而且耗用量少