新品介紹:晶圓表面用二氧化硅納米粒子

產(chǎn)品名稱：

SiO2微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液

納米級別二氧化硅

SiO2標(biāo)準(zhǔn)粒子

晶圓表面用二氧化硅

NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是由MSP Corporation制作的高度均勻尺寸SiO2微粒子濃縮水溶液，微粒子尺寸從18nm到200nm都選擇，是市面上理想、質(zhì)量較高的校正標(biāo)準(zhǔn)，適用于新一代的晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)。

   先進(jìn)的半導(dǎo)體檢查技術(shù)已經(jīng)發(fā)展到小于30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即做晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)的校正，但新一代的檢查系統(tǒng)使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢查小于20nm的污染或缺陷，當(dāng)UV光重復(fù)打在PSL球形化粒子上，將影響到PSL球形化粒子的質(zhì)量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下?lián)碛蟹€(wěn)的質(zhì)量，因此SiO2微粒子是較好的替代產(chǎn)品。

NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是使用有的SiO2合成技術(shù)，以做到如PSL球形化粒子一樣的尺寸分布，從目前小的微粒子尺寸來看，NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是尺寸均勻，適合做尺寸大小峰值的量測的工具。

NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是MSP Corporation透過National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到標(biāo)準(zhǔn)單位的產(chǎn)品，加上ISO 9000與SEMI的認(rèn)證，讓良率提升及表面檢查和缺陷評估有所依據(jù)。

NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液使用15-mL滴，讓使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷標(biāo)皆標(biāo)示產(chǎn)品編號、生產(chǎn)編號、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高寬及有效期限，而且提供NIST-traceable證明書與Material Safety Data Sheet (MSDS)說明書。